待处理有机废气经引风机进入蓄热室 1 的陶瓷介质层（该陶瓷介质“贮存”了上一氧化周期产生的热量），陶瓷介质释放热量，温度降低，而有机废气吸收热量，温度升高，废气离开蓄热室后以较高的温度进入氧化室， 此时废气温度的高低取决于陶瓷体的体积、废气流速和陶瓷体的几何结构。 在氧化室中，有机废气再由燃烧器补燃，加热升温至设定的氧化温度。 使其中的有机物被氧化分解成 CO2 和 H2O。由于废气已在蓄热室内预热，燃烧器的燃料用量大为减少。氧化室有两个作用：一是保证废气能达到设定的氧化温度，二是保证有足够的停留时间使废气中的VOC充分氧化。
废气流经蓄热室1升温后进入氧化室焚烧，成为被净化的高温气体后离开氧化室，进入蓄热室2（在前面的循环中已被冷却，此时蓄热式3正处于吹扫净化状态），废气中的热能被陶瓷体截留，废气的温度得到明显的 降低，而蓄热室2吸收大量热量后升温（用于下一个循环加热废气）。处 理后气体离开蓄热室2，经排风机排入大气。
循环完成后，进气与出气阀门进行一次切换，进入下一个循环，废气 由蓄热室2进入，蓄热室3排出。在切换之前，已被净化的气体经反吹系统清扫蓄热室1吹扫残留在管路及室内的有机物。这样可使废气的净化率更高，可达到98%以上。三个蓄热室的阀门交替运行。
